ثلاثي أكسيد الفوسفور هو مادة صلبة بلورية بيضاء أو سائل (نقطة انصهار 24 درجة مئوية). كثافته 2.14 جم/سم3. سام ومسبب للتآكل. قد يسبب تهيجًا شديدًا للجلد والعينين. يستخدم في صناعة مواد كيميائية أخرى. يُعرف أيضًا باسم حمض الفوسفوريك أو أنهيدريد الفوسفوريك.