هفنيوم تيرت-بوتوكسيد [Hf(OtBu)4] هو مركب أحادي النواة، متطاير، وواعد جدًا كسلف لترسيب HfO2 وأغشية رقيقة أخرى مشوبة بالهفنيوم عن طريق تقنيات الترسيب بالبخار. تُظهر الأغشية المترسبة ثابت عزل كهربائي عاليًا مناسبًا لأجهزة أشباه الموصلات. العدد الذري للمادة الأساسية: 72 الهفنيوم.