تيتراكيس(ثنائي إيثيل أمينو)تيتانيوم هو مركب سابق مفيد لمصدر التيتانيوم. يستخدم في ترسيب أفلام نيتريد التيتانيوم (TiN) باستخدام طريقة ترسيب الطبقة الذرية (ALD). كما أنه مركب مفيد أثناء عملية حفر طبقة من الكربون الشبيه بالماس. الرقم الذري للمادة الأساسية: 22 (تيتانيوم).