تيتراكيس(ثنائي ميثيل أمينو)تيتانيوم CAS: 3275-24-9

تيتراكيس(ثنائي ميثيل أمينو)تيتانيوم(IV) (TDMAT) هو مركب كيميائي يستخدم كمادة أولية لتحضير أفلام رقيقة من نتريد التيتانيوم (TiN) عن طريق ترسيب البخار الكيميائي العضوي الفلزي (OMCVD) وأفلام رقيقة من ثاني أكسيد التيتانيوم عن طريق ترسيب الطبقة الذرية (ALD). يتميز هذا المركب بلونه الأصفر الفاتح إلى البرتقالي ويستخدم في الصناعات الإلكترونية وأنظمة الترسيب الكيميائي للبخار وفي الأبحاث والتطوير.