هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم هو ملح أمونيوم رباعي يستخدم بشكل عام كمادة كاشطة غير متساوية للسيليكون بسبب معدل الحفر العالي للسيليكون. يوجد في شكل صلب مائي أو سائل عديم اللون ذو رائحة قوية تشبه الأمونيا. وهو قابل للذوبان في الماء، وله تأثير تآكل على المعادن والأنسجة. يستخدم محلول هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم (محلول 25% وزناً في الماء) كقاعدة لضبط درجة الحموضة للحصول على ألومينوفوسفات مسامي سداسي (TAP).