(كلوروميثيل) ثلاثي كلورو سيلان هو سائل عديم اللون ذو رائحة نفاذة وقوية. ينتمي إلى فصيلة الكلوروسيلانات، وهي مشتقات من رباعي كلوريد السيليكون حيث يتم استبدال ذرة كلور واحدة أو أكثر بمجموعة عضوية. يُستخدم في تحضير بوليكاربوسيلان متفرع للغاية وفي تحضير فيروسينوفان. يتميز هذا المركب باستقراره الحراري العالي وقوته الميكانيكية الممتازة، مما يجعله مناسبًا للتطبيقات في صناعات الطيران والسيارات والإلكترونيات.