وسيط لإنتاج السيلكونات. سائل عديم اللون إلى أصفر ذو رائحة نفاذة. أميل ثلاثي كلورو سيلان (مزيج متماكبات) (بنتيل ثلاثي كلورو سيلان) قابل للاشتعال ونقطة وميضه 145 درجة فهرنهايت. مسبب للتآكل للمعادن والأنسجة. يتحلل بسهولة بالرطوبة مما يؤدي إلى إطلاق كلوريد الهيدروجين.