هيكساميثيل ديسيلوكسان (HMDS) هو مركب عضوي سيليكوني يتكون من مجموعتي تريميثيل سيلليل مرتبطتين تساهميًا بذرة أكسجين مركزية. وهو سائل عديم اللون أو أصفر شفاف، قابل للاشتعال وغير قابل للذوبان في الماء لكنه قابل للذوبان في العديد من المذيبات العضوية. يستخدم كمادة وسيطة في إنتاج بوليمرات السيليكون، وكسائل أساسي في منتجات العناية الشخصية، وكعامل سيليللة للأحماض الكربوكسيلية والكحوليات، وفي ترسيب الأغشية الرقيقة بتقنية البلازما، وكبديل للسيلان في تكنولوجيا الدوائر المتكاملة السيليكونية.