رباعي هيدريد السيليكون هو مصدر للسليكون فائق النقاء لأشباه الموصلات. يستخدم في تشويب الأجهزة الصلبة وفي تحضير السليكون شبه الموصِل لصناعة الإلكترونيات. وهو غاز عديم اللون، سريع الاشتعال تلقائيًا (بيروفوري)، ذو رائحة خانقة، وقد يشكل مخاليط متفجرة مع الهواء. يتفاعل بعنف مع هاليدات المعادن الثقيلة والهالوجينات الحرة باستثناء كلوريد الهيدروجين.