يستخدم سداسي فلوريد التنغستن في صناعة الإلكترونيات كمصدر لمعدن التنغستن الذي يربط طبقات الألومنيوم داخل الأجهزة شبه الموصلة. وهو سائل أو غاز سام مسبب للتآكل بلون أصفر فاتح. درجة غليانه 67°ف ودرجة انصهاره 37°ف. غير قابل للاشتعال. يستخدم في تصنيع مواد كيميائية أخرى وفي صناعة الإلكترونيات.