هيكساكلوروديسيلان مركب كلوروسيلان عديم اللون يستخدم كمادة أولية لإنتاج الديسيلانات. يعمل كمختزل في تفاعلات كيميائية متعددة مثل نزع الأكسجين والكبريت من أكاسيد الفوسفين وكبريتيدات الفوسفين وأكاسيد الأمين. يستخدم أيضًا في تقنية ترسيب الأبخرة الكيميائية (CVD) مع الأمونيا لإنتاج نيتريد السيليكون. يتميز بدرجة غليان تتراوح بين 144-145.5°م وكثافة 1.562 جم/سم³. له تطبيقات رئيسية في صناعة أشباه الموصلات وإنتاج أفلام السيليكون.