إيثيل تراي كلورو سيلان هو وسيط لإنتاج السليكونات. سائل عديم اللون متصاعد الأبخرة ذو رائحة نفاذة. نقطة الوميض 57°فهرنهايت. درجة الغليان 211.1°فهرنهايت (99.5°مئوية). الأبخرة والسائل قد يسببان حروقاً. كثافته أعلى من الماء. أبخرته أثقل من الهواء. يُستخدم في الصناعة الكيميائية كوسيط لإنتاج السليكونات نظراً لخصائصه الكيميائية وقدرته على التفاعل مع المركبات الأخرى. قدرته على تكوين روابط مستقرة مع السيليكون تجعله مكوناً قيماً في تصنيع منتجات السليكون المختلفة.