تريس(ثنائي ميثيل أمينو)سيلان (TDMAS) هو مركب عضوي سيليكوني يستخدم كمصدر لترسيب أفلام رقيقة من أوكسي نتريد السيليكون، وكربون نتريد، ونتريد، وأكسيد. يتميز بنقطة انصهار وضغط بخار مناسبين، مما يجعله سابقًا مثاليًا لعمليات الترسيب بالبخار في درجات حرارة منخفضة للركيزة (<150 درجة مئوية).