تتراكيس(ثنائي إيثيل أمينو)زركونيوم هو مركب أولي مفيد في ترسيب مواد فيلم رقيق كهروضغطية بواسطة ترسيب البخار الكيميائي (CVD). كما أنه مفيد في إنتاج بوليمرات الأوليفين وفي ترسيب أفلام زركونيوم نيتريد (ZrN) باستخدام طريقة ترسيب الطبقة الذرية المعززة بالبلازما البعيدة. يستخدم أيضًا في تحضير أفلام زركونيوم أكسيد (ZrO2) ومركبات الزركونيوم التي تعمل كحفازات أولية للتفاعلات الكيميائية العضوية.