ثلاثي إيثيل سيليل ثلاثي فلورو ميثان سلفونات هو عامل سيليلة قوي وحفاز لويس. تستخدم إيثرات ثلاثي إيثيل سيليل بشكل عام كمجموعة حماية للكحوليات بسبب ثباتها الأعلى تجاه التحلل المائي مقارنة بإيثرات ثلاثي ميثيل سيليل. يعمل هذا المركب أيضًا كحفاز في تفاعلات التكثيف مثل تفاعل 2-تريميثيل سيلوكسي فيوران مع الألدهيدات لإنتاج نواتج الإضافة ثريو. بالإضافة إلى ذلك، يستخدم في تحضير مركبات الديازو مثل 1-ديازو-3،3-ثنائي ميثيل-1-(ثلاثي إيثيل سيليل)-2-بيوتانون.